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世界上主要的幾種多晶硅生產(chǎn)工藝

世界上主要的幾種多晶硅生產(chǎn)工藝

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級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:80459 | 大。19.50KB | 下載:4451 次 | 上傳:2013-10-14

簡介:

改良西門子法是用氯和氫合成氯化氫(或外購氯化氫),氯化氫和工業(yè)硅粉在一定的溫度下合成三氯氫硅,然后對三氯氫硅進(jìn)行分離精餾提純,提純后的三氯氫硅在氫還原爐內(nèi)進(jìn)行CVD反應(yīng)生產(chǎn)高純多晶硅。

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