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薄膜的制作方法與膜厚的測試

薄膜的制作方法與膜厚的測試

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級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:85184 | 大小:20.87KB | 下載:5281 次 | 上傳:2013-03-22

簡介:

真空蒸鍍法; 蒸發(fā)分子的碰撞幾率和平均自由程; 蒸發(fā)物質的形態(tài); 特殊的蒸發(fā); 瞬時蒸發(fā)法; 無機化合物的蒸發(fā); 濺射法; 輝光放電和濺射現(xiàn)象; 濺射率;

[展開]
 

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