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光學(xué)鍍膜寬帶膜厚監(jiān)控系統(tǒng)研究

光學(xué)鍍膜寬帶膜厚監(jiān)控系統(tǒng)研究

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簡(jiǎn)介:

針對(duì)傳統(tǒng)的寬帶膜厚監(jiān)控法存在精度低和靈活性不高的缺陷,文章提出了一種新的方法,在蒸鍍過(guò)程中不斷擬合更新鍍層的色散系數(shù)(折射率)、膜厚等參數(shù),而后根據(jù)所得數(shù)據(jù)不斷修正設(shè)想的目標(biāo)透射率(反射率),以克服傳統(tǒng)的寬帶膜厚監(jiān)控法的缺陷,這就是基于修正膜層目標(biāo)光譜特性的寬帶膜厚監(jiān)控系統(tǒng)。

[展開(kāi)]
     

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