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薄膜的物理氣相沉積

薄膜的物理氣相沉積

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級別:| 積分:60 分 | 瀏覽:81209 | 大。1.02MB | 下載:4489 次 | 上傳:2013-09-05

簡介:

物理氣相沉積Physical Vapor Deposition(PVD): 利用某種物理的過程(如熱蒸發(fā)和濺射),實現物質原子從源物質到薄膜的可控轉移的過程。

[展開]
         
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