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回收碳化硅使用比例對硅片質(zhì)量的影響

回收碳化硅使用比例對硅片質(zhì)量的影響

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級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:79567 | 大。174.50KB | 下載:4404 次 | 上傳:2013-11-29

簡介:

碳化硅微粉是多線切割硅片中最主要的磨料,適合切割較硬、脆的材料。多線切割是由導(dǎo)輪帶動鋼線進(jìn)行高速運(yùn)動,由鋼線攜帶砂漿進(jìn)行研磨的切割方式。

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