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薄膜技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用

薄膜技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用

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級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:72377 | 大。795.18KB | 下載:4010 次 | 上傳:2014-12-30

簡介:

有人認(rèn)為最近十年薄膜 技術(shù) 的迅速發(fā)展主要是 由于以下 四 個(gè)領(lǐng)域取 得 了進(jìn)展 : 1.工業(yè)上 應(yīng)用領(lǐng)域逐步 擴(kuò)大, 用量 迅速增加 ; 2.新 的分 析檢 測技 術(shù)的 進(jìn)步; 3.改 進(jìn) 了薄 膜工藝 的監(jiān)測和 控制 ; 4. 薄膜 工 藝的逐步定 型。

[展開]
         
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