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AZO透明導(dǎo)電薄膜的制備技術(shù)及應(yīng)用進(jìn)展

AZO透明導(dǎo)電薄膜的制備技術(shù)及應(yīng)用進(jìn)展

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級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:80359 | 大。27.00KB | 下載:4443 次 | 上傳:2013-10-22

簡介:

本文概述了國內(nèi)外AZO透明導(dǎo)電薄膜的多種制備技術(shù)和開發(fā)應(yīng)用進(jìn)展,詳細(xì)介紹了磁控濺射、溶膠--凝膠、脈沖激光沉積、真空蒸鍍、化學(xué)氣相沉積等工藝在AZO薄膜制備中的研究現(xiàn)狀,并且分析了AZO膜的優(yōu)良性能,指出AZO薄膜的產(chǎn)業(yè)化前景看好。

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