秋霞午夜影院国产毛片,国产一级淫片免费播放,国产欧美日韩不卡在线播放在线,3a无码在线观看,午夜精品无码专区,国产亚洲精品va在线,a级午夜毛片免费一区二区

您好,歡迎來到一覽文庫!找行業(yè)資料上一覽文庫!
一覽( 微信公眾號:yilanshequ )

一覽( 微信公眾號:yilanshequ )

打開微信掃一掃,即可直接關注

收藏我們 | 登錄 | 注冊
當前位置:一覽文庫> 電氣電力 > 光伏 > 低應力PECVD氮化硅薄膜的制備
低應力PECVD氮化硅薄膜的制備

低應力PECVD氮化硅薄膜的制備

一覽通:免費獲取520份薪酬績效文檔

級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:80355 | 大。126.50KB | 下載:4447 次 | 上傳:2013-10-22

簡介:

研究了等離子增強化學氣相淀積(PECVD)工藝中射頻條件(功率和頻率)對氮化硅薄膜應力的影響。對于不同射頻條件下薄膜的測試結果表明:低頻(LF)時氮化硅薄膜處于壓應力,高頻(HF)時處于張應力,且相同功率時低頻的沉積速率和應力分別為高頻時的兩倍左右。

[展開]
         
下載文檔到電腦,查找使用更方便
需0積分下載

猜你喜歡

收藏 下載此文檔 所需積分:0分